赋能半导体行业智能制造 海宁这家企业的移动机器人彰显大作为

它叫‘SIBOT-12’，别看它个头挺小，却能够在精密的半导体生产车间中行动自如，丝毫没有障碍。”近日，记者走进浙江欣奕华智能科技有限公司，区域总经理邓卫邦向记者展示公司自主研发的半导体硅片搬运复合移动机器人。

浙江欣奕华智能科技有限公司是一家以算法、芯片、机器人系统为技术核心，面向合作伙伴提供一系列移动机器人整体解决方案的高科技公司，能够有效帮助合作伙伴提高物流效率与生产产能，强化精细化管理水平。

“以往的人工长距离搬运往往会导致晶圆破裂、品质下降等诸多问题。‘SIBOT-12’却能轻松将这些问题迎刃而解。”邓卫邦说道。

识别、巡检、抓取……一家半导体企业的生产车间里，欣奕华的“SIBOT-12”移动机器人正在兢兢业业地工作。根据不同场景特点，操作人员能够灵活配置各路线上移动机器人的运动方向、位置、速度、避障距离等，大大提高了车间整体生产作业效率。

邓卫邦直言，作为工业领域最尖端技术之一的半导体制造行业，产品价格极为昂贵，对生产环境有着非常严苛的要求。不可避免的是，人员在搬送过程中的环境污染及人为振动都将影响产品良率。

正是瞄准了这一行业痛点，2018年欣奕华落户海宁泛半导体产业园，选择以软硬件一体的移动机器人整体化解决方案切入半导体行业，解决客户生产中的实际问题。“通过智能化解决方案能够保证产品良率，也为客户带来了更高的产能。”

目前，欣奕华已经为半导体硅片加工制造、封测等领域的多家上下游企业提供移动机器人解决方案并完成交付使用。尤其在半导体行业，欣奕华已经与大量知名企业达成合作，并不断在精密电子制造行业拿下大量订单。

“2022年，公司实现销售收入2300多万元，预计2023年全年将会破亿。”说起今年的期待，邓卫邦信心满满。

这样的自信来源于公司不断的自主创新。国内首创关于透明物体视觉识别，国内首创针对无尘环境的解决方案，国内首创特殊一体化防震设计……就在去年，欣奕华与上海大学共建“半导体显示装备与材料实验室”，为公司研发制造提供了有力的智力支撑和国际化视野。“公司始终相信技术创新是企业发展的原动力，除了不断引进高层次人才，还分别与浙江大学、北京大学、上海大学、德国汉堡大学等科研机构保持长期稳定的技术合作。”

接下来，欣奕华还准备往AI+、AMR+复合机器人，无人化工厂设备方向发展，致力于成为全场景移动机器人解决方案提供商，助力合作伙伴提高生产经营环节的数字化和智能化水平。

“欣奕华会专注于两个点，一个是产品的研发，另外则是行业解决方案。”邓卫邦表示，国产芯片黄金爆发期下，欣奕华将持续以专业可靠的解决方案服务半导体行业，赋能中国芯片智造。

海宁市传媒中心记者丨周佳洪

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来源：浙江园区招商网

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